高感度かつ応答速度の速い湿度センサ［信州大学・工学部］

耐熱性・化学的安定性に優れたポリイミドとMWCNT（多層カーボンナノチューブ）+SWCNT（単層カーボンナノチューブ）電極を組み合わせた、10msオーダーと従来の100倍高速な静電容量型湿度センサです。

カーボンナノチューブ（CNT）はナノスケールの網目状構造を持つため、ガス透過性電極となります。ガス分子が出入り上部電極は、ガスの移動を妨げないことも重要であり、例えば水蒸気を透過する湿度センサの場合は、高い撥水性を持たせることで高速な応答が期待できます。

本技術では水蒸気やガス状の化学物質によって電気的特性が変化するポリイミドの薄膜にCNTを上部電極として装着することによって、従来の湿度センサより応答速度の向上、高感度化、温度変化の抑制、耐久性の向上を実現しました。