微細レジストパターンの一括形成技術 について
多様な表面形状
- 円筒内面：円周方向へ任意パターンを一括形成
- 段差面：段差にランダムパターンを一括形成
マイクロパターン
パターンサイズ：数μｍ～数百μm
広範囲・高速・安価
光リソグラフィ技術（高出力レーザー不要）
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円筒内面への露光技術
・円周方向へ一括でパターンを形成
・ステップ＆リピート露光、スキャン露光が可能な原理
・マスクを変えることで任意のパターンを転写 -
段差面への露光技術
・模擬段差200mmに同じ露光量で類似パターンを形成
・ランダムな形状、配置でパターンを形成
・ランダムなパターンの寸法や密度を制御可能
想定される用途／実績例
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撥水性の付与
マイクロピペット先端部、医療用メス、金型部品など -
生体適合性の向上
インプラント材料など -
オイル潤滑性の向上
加工機、内燃機関など
基本情報
- 研究機関
- 東京電機大学 工学部
- 特許情報
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「露光装置」特願2022-131915
「内面露光装置」特願2022-019713 他
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