公開特許情報-3

発明の名称:無転位シリコン単結晶の製造方法

出願番号(出願日)特願2000-049667(2000.02.25)
公開番号(公開日)特開2001-240493(2001.09.04)
特許番号特許第3446032号
発明者<敬称略>干川 圭吾(信大繊維学部)
出願人信州大学
発明の概要ネッキング工程の不要な無転位シリコン単結晶製造方法を提供する。
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